刻，不会出现因为其他步骤失误而造成芯片不合格
旁边还有一台，这一台是22纳米光刻机，现在的成功率在60%左右，因为有些地方仍然不平稳，所以成功率不算太高，他们正在通过调整程序以及零件的办法增加精准度
现在伺服电机能够转动的最小精准角度为10度，这代表着如果想要进行纳米级移动需要高精准度的减速机，为了能够达到这个目标，这台机器上加装了大量的减速机，并且为了能够达到目的，还装了大量的阻尼器和透镜进行偏转，这才能精准的进行光刻
徐光亮看了一会，找到负责人问：“现在什么情况？22纳米光刻机设什么时候能够成功？十四纳米呢？”
负责人摇摇头说：“现在这个设计很难达到14纳米精度，不过针对14纳米我们提出了另一个解决办法”
他一听非常有兴趣问：“什么解决办法能够完成解决十四纳米的精度？”
“集成光刻微动机电技术！”负责人说
“是这个？”徐光亮当然知道这个技术，说起来也是因为光子核心知道的这个东西，因为当初光子核心确定方案的时候就曾经有人提出过这个方案但是当时的他并不认为这种方案是光子核心的最佳方案，所以没有允许，因为这个方案是所有光子核心都会用到的普遍技术，毕竟它的响应速度制约了光子核心运算速度
但是现在不同，这个并不是光子核心，如果能够用这套东西解决精度问题，那也是不错的方案
负责人喋喋不休的给徐光亮科普这个东西，徐光亮摆了摆手说：“我知道这个东西，那么你们做过实验吗？”
“做过了，我们使用32纳米的光刻机进行光刻零件制作，得到了光刻零件和微型伺服电机，大小只有数百纳米那么大，经过实验，这些小东西能够进行数十纳米的精准移动”负责人领着徐光亮来到了一个由很多小平台组成的机械旁
徐光亮看了看这个别致的小机器，它的大小只有一米见方，旁边伸出了一个操作台，底部是由铸铁做成的重量高达数吨的底座，机器是按在上面的，底座周围采用的是隔离安装，周围挖空，防止外界机械振动对机器造成影响
负责人叫来一个人进行操作，徐光亮看到，开启之后，早已经准备好的切割好的芯片块被传料装置传到工位上，经过定位之后，拖着芯片块的底板开始移动，遵循靠近降低速度的原则，芯片顺畅的加工起来
这还只是一块加工，负责人表示，如果需要的话，这一台机器能够同时加工上百块芯片，之所以这么大的空间只有这么多，也是为了防止干扰问题，现在的距离时最合适的
徐光亮有些奇怪的问：“既然这个机器现在已经成功了，为什么不全力展开这个机器的工业化